Ошибка сервера 500 с mod_deflate в .htaccess

Когда я включаю mod_deflate в .htaccess под Apache 2.2.23, я получаю ошибку сервера 500 для всего сайта.

Вот код, который я использую:

<IfModule mod_deflate.c>
# Don't compress certain content under Apache 2.x
<Location />
    SetOutputFilter DEFLATE
    SetEnvIfNoCase Request_URI  \
    \.(?:gif|jpe?g|png)$ no-gzip dont-vary
    SetEnvIfNoCase Request_URI  \
    \.(?:exe|t?gz|zip|gz2|sit|rar)$ no-gzip dont-vary
    SetEnvIfNoCase Request_URI \/(shipments)\.php no-gzip dont-vary
    SetEnvIfNoCase Request_URI \/(modules)\/ no-gzip dont-vary
</Location>

AddOutputFilterByType DEFLATE text/* application/x-javascript application/javascript application/x-httpd-php application/rss+xml application/atom_xml

<ifmodule mod_headers.c>
    # properly handle requests coming from behind proxies
    Header append Vary User-Agent
</ifmodule>
</IfModule>

Есть идеи, что могло вызвать ошибку?